有機蒸着装置　EO-6

特徴 試料ステージは公転式を採用し、有機蒸着ステーション／金属ステーションでの蒸着により真空一貫での成膜ができます。 前面扉方式のチャンバーで、蒸着源材料の交換やメンテナンスが容易な構造です。 有機蒸着源及び金属蒸着源は防着板で完全に仕切られ、蒸着源での干渉がありません。 蒸着源はセルタイプ、抵抗加熱ボート等各種の選択が可能です。 各ステーション共に２元同時蒸着が可能です。 装置の拡張性に優れており、評価室／ロードロック室／グローブボックス増設等が可能です。   仕様   ■ 到達圧力 10-5Pa台 ■ 基板サイズ 30×30mm ■ 基板加熱機構 ランプ加熱　Max300℃ ■ 蒸着源　(オプション） 有機用　・・・・・・　ミニセル、ボートセル、マイクロセル、バスケット等より選択 金属用　・・・・・・　横型セル、縦型セル、EBガン、スパッタ源等より選択 ■ プローブ機構（オプション） 測定位置固定式／測定位置可動式