有機蒸着装置 EO-7
特徴
本システムは、蒸着源室と基板搬送機構を一体型にするというコンセプトのもとに開発された、画期的な装置です。
蒸着源室と基板搬送機構が一体型になったことにより、
１．多元蒸着を効率良く行うことが可能
２．設置スペースが従来の約半分：
1400（W）×1300（D）
（LL室を含む）
３．排気ポンプを削減し、大幅なコストダウンを実現
蒸着源室は取外しが可能で任意の位置に配置できる為、システムの構築が容易です。
試料交換等のメンテナンスが容易に行えます。
液晶モニターによる手元での操作が可能です。
仕様
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蒸着源室到達圧力
10
-5
Pa台
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基板サイズ
100×100mm
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マスク合せ精度
±0.1mm
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蒸着源 (オプション）
有機セル（10cc）
金属セル（10cc）
EB GUN（2cc）
＊特許出願中
装置構成
