１．MBE
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水冷MBE
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EW-3 |
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水冷MBE |
EW-10 |
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水冷MBE |
EW-100 |
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MBE |
EV-50 |
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MBE |
EV-100 |
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Si/Ge 成膜装置 |
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２．Vacuum Evaporator
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真空蒸着装置
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SE-5A |
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真空蒸着装置
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SE-5D |
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真空蒸着装置
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VX-30 |
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簡易薄膜ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置 |
VX-20 |
３．EB Evaporator
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EB蒸着装置
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EB-680 |
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EB蒸着装置
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EB-350 |
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EB蒸着装置
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EB-350T |
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電子線MBE
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EB-5 |
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４．Sputtering
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CVD+ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｽﾊﾟｯﾀ複合装置
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ES-230 |
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ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ
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ES-350SU |
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スパッタ装置
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ES-310 |
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ｽﾊﾟｯﾀ装置 3インチ |
ES-360 |
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ｽﾊﾟｯﾀ装置 6インチ |
ES-610 |
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ｽﾊﾟｯﾀ装置 4インチ |
ESR-460 |
| |
ｽﾊﾟｯﾀ装置 |
ES-460R |
| |
ｽﾊﾟｯﾀ装置 |
ES-830 |
５．Organic
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有機薄膜作製装置
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EO-5 |
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有機蒸着装置
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EO-6 |
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有機蒸着装置
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EO-7 |
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有機EL蒸着装置 |
EO-10 |
６．Variation
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BONDING SYSTEM
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EHB-400 |
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ロールコーター
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ERC-200 |
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カーボンナノチューブ合成装置
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ECN-500 |
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Laser Ablasion
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EA-100 |
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RIE |
ERI-2500 |
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ﾏﾙﾁﾁｬﾝﾊﾞｰｼｽﾃﾑ |
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封止装置 |
EHB-300 |
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７．Component
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ｾﾙ
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ｲｵﾝ化ｾﾙ
多源ｾﾙ
Kｾﾙ
高温ｾﾙ
Siｾﾙ
ｸﾘｽﾀﾙｾﾙ
ﾊﾞﾙﾌﾞﾄﾞｸﾘｽﾀﾙｾﾙ
横型ｾﾙ |
MB-3000E
MB-3000M
MB-3000
MB-3500
MB-3000Si
MB-3000C
MB-3000V
OUP-3000 |
|
EBｶﾞﾝ(180°偏向型) |
| |
3ｋW3連型
3ｋWｼﾝｸﾞﾙ型 |
MB-5033S
MB-5031VS |
| EBｶﾞﾝ(270°偏向型) |
| |
5ｋW8連型
5ｋWｼﾝｸﾞﾙ型 |
MB-5258S
MB-5251VS |
| RHEED |
|
MB-1000 |
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ﾗｼﾞｶﾙ源 |
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ER-1000 |
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ﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀ |
1ｲﾝﾁ
2ｲﾝﾁ
3ｲﾝﾁ
4ｲﾝﾁ
6ｲﾝﾁ |
MB-4100K
MB-4200K
MB-4300K
MB-4400K
MB-4600K |
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ｽﾊﾟｯﾀ源 |
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ES-3000 |
| ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞﾀｰｹﾞｯﾄ |
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その他 |
ﾋﾞｰﾑﾌﾗｯｸｽﾓﾆﾀｰ
ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ
回転導入機
膜厚ﾓﾆﾀｰ
膜厚ﾓﾆﾀｰ |
EBM-1000
MB-9000
MB-8600
ETM-100
ETM-200 |
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８．Electron Microscopy
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生体内凍結処理装置
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VIO-10 |
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ｲｵﾝｺｰﾀｰ
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IB-2/3 |
| |
ｲｵﾝｺｰﾀｰ |
IB-5 |
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凍結乾燥器 |
ID-3 |
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急速凍結器 |
MF-2 |
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