スパッタ装置　ES-310

3インチのスパッタ源を１元装着しており、電源ラックも架台収納式で、非常にコンパクトで使い易い設計です。   仕様   ■ 成膜室 １．到達圧力 2×10-5Pa以下 ２．チャンバーサイズ ø253×400H程度 ３．基板寸法 2インチ（シャッター機構付） ４．スパッタ源 3インチ ５．排気系 TMP210L/sec　　R.P162L/min