スパッタ装置　ES-460R
特長
  • 本システムは、100mm角の大型基板に対応しています。
  • 複数のターゲットによる対向スパッタリングが可能です。
  • チャンバー上部フランジ開閉用の専用リフターが装備されています。
  仕様

■ スパッタ室
  • 到達圧力
    		• 1×10-6Pa以下
  • 基板寸法
    		•  100mm×100mm
  • 基板温度
    		•  Max　300℃
  • スパッタ源
    		•  ターゲット寸法　φ6インチ
  • 排気系
    		•  TMP
    ■ 処理室
  • 到達圧力
    		•  1×10-5Pa以下
  • 基板サイズ
    		•  100mm×100mm
  • 基板温度
    		•  RT〜300℃
     
  • 保護膜用イオン源
    		•   
     
  • 排気系
    		•  TMP
    エイコー　ホームへ