 |
4インチのスパッタ源を6元装着していますので、非常に作業効率の良い装置です。
基板処理チャンバーでは、基板クリーニングを行なうことができます。 |
| ■ スパッタチャンバー |
１．到達圧力 |
5×10-6Pa |
|
２．チャンバーサイズ |
ø960×600H |
|
３．基板寸法 |
4インチ |
|
４．基板加熱温度 |
800℃MAX ランプヒーター |
|
５．スパッタ源 |
4インチ × 6源 |
|
６．排気系 |
TMP1500L/sec R.P345L/min |
|
■ 基板処理チャンバー
|
７．基板寸法 |
4インチ 基板加熱温度300℃ |
|
８．排気系 |
TMP500L/sec R.P250L/min |
| ■ ロードロック室 |
９．到達圧力 |
10-4Pa |
|
１０．排気系 |
TMP210L/sec R.P162L/min |
| ■ オプション |
１１．基板クリーニング機構 / 成膜ソフト / イオン源 / マスフローコントローラー
|
|
|
