スパッタ装置 6インチ ES-610
6インチのスパッタ源を１元装着しており、大きなサイズの基板に最適です。
成膜ソフト（オプション）を付けることにより、更に作業の効率化を図ることが可能です。
仕様
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スパッタチャンバー
１．到達圧力
4×10
-5
Pa以下
２．チャンバーサイズ
ø406×600H
３．基板寸法
6インチ（冷却・回転機構付）
４．スパッタ源
6インチ
５．排気系
TMP500L/sec R.P250L/min
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オプション
６．成膜ソフト / 膜厚モニター
