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本装置は、簡単に金、アルミニウム等を蒸着できる簡易型の蒸着装置です。
バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。基板は500℃まで加熱でき、温度調節計により温度制御を行います。
排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 |
| １．到達圧力 |
1.33×10-4Pa |
| ２．チャンバーサイズ |
ø220mm×200mmH |
| ３．チャンバー材質 |
パイレックス |
| ４．基板ホルダー |
加熱温度 ： 300〜500℃
温度測定素子 ： 熱電対K
試料寸法 ： 10〜50ｍｍ |
| ５．蒸発源 |
抵抗加熱（バスケットタイプ）
シャッター、高さ調整機構付 |
| ６．出力電圧 |
12V 50A |
| ７．真空計 |
フルレンジゲージ |
| ８．排気系 |
TMP70L/sec R.P50L/min （OMT付） |
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