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簡単にアルミニウムを蒸着できる卓上型の蒸着装置です。
バスケットタイプの蒸発源で、基板は支柱上のプレートに取付けられており、高さは任意に変えられます。 排気系はTMPとR.Pを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 |
| １．到達圧力 |
1.33×10-4Pa |
| ２．チャンバーサイズ |
ø216mm×200mmH |
| ３．チャンバー材質 |
パイレックス |
| ４．蒸発源 |
抵抗加熱（バスケットタイプ）
シャッター、高さ調整機構付 |
| ５．出力電圧 |
12V 50A |
| ６．真空計 |
フルレンジゲージ |
| ７．排気系 |
TMP70L/sec R.P50L/min（OMT付き） |
| ８．オプション |
試料ホルダー （サイズは任意に指定） |
| ９．試料ホルダー （サイズは任意に指定） |
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