薄膜コーティング装置 VX-20
あらゆる機構を簡略・小型化し、Kセル／EBガン／スパッタ源等を組み合わせることにより、さまざまな薄膜作製ができるよう開発された装置です。
仕様
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本体
１．到達圧力
10
-5
Pa台
２．排気系
TMP210L/sec R.P162L/min
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オプション
３．加熱機構付基板ホルダー
最高温度 500℃
４．サイドエントリー型セル
ルツボ容量 1cc / 最高加熱温度 1300℃
５．スパッタ源
2インチ
