ロールコーター ERC-200
特長
本システムは、ロールフィルムに多元のスパッタ源を用いて、多種の材料の薄膜が連続的に成膜できる装置です。
成膜時の温度は-30℃〜80℃まで可変できます。
酸化物・窒化物等の為に、可能な限りガス分離可能な構造を採用した装置です。
＊特許出願中
仕様
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ロール室
到達圧力
10
-5
Pa
ロール径
φ200mm （巻出し・巻取り部共通）
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スパッタ室
到達圧力
10
-5
Pa
スパッタ源
ターゲットサイズ：250mm×80mm
成膜ロール部寸法
φ380×200
成膜ロール部温度
-30℃〜80℃
