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加工精度が高く、微細加工が可能なエッチング装置です。
ロードロック室を標準装備しているため、エッチング室は大気に晒されることがなく、塩素系ガスを用いたエッチング時の再現性・均一性が良好です。 |
| ■ スパッタチャンバー |
１．到達圧力 |
5×10-6Pa |
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２．チャンバーサイズ |
ø253×300H程度 |
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３．基板寸法 |
2インチ |
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４．基板加熱温度 |
800℃MAX ランプヒーター |
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５．排気系 |
TMP210L/sec R.P162L/min |
| ■ ロードロック室 |
６．到達圧力 |
10-4Pa |
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７．排気系 |
TMP60L/sec R.P90L/min |
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