特長
- 静止状態からの変位・振動測定ができます
- レーザ光の照射方向と直交する横方向のあらゆる物の変位・振動解析が可能
- マイクロマシン等の積層膜の面内方向の変位・振動測定に用います
仕様
| 品 番 | PHS-6000 |
| 測定範囲 | ±40μm |
| 分解能 | 40nm |
| 測定周波数 | DC〜20kHz |
| 最大検出速度 | 400mm/sec |
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光ヘテロダイン干渉面内変位計
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特長
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仕様
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