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V-1000型 真空紫外分光光度計

V-1000は、115nm〜320nmの波長領域での光学特性評価用に作られました。真空紫外領域では酸素による強い吸収があるため、従来は光路を真空に引いて測定していましたが、V-1000では、パージ効率を高めた筐体にすることにより窒素パージによる測定を可能にし、試料のセッティングから測定開始までを短時間で行えます。また、ダブルモノクロメータにすることにより迷光を除去し、モニタダブルビーム方式により、測光再現性を高めています。このため157nmにおいて0.03%の測光再現性を実現しています。

■特長
  • 157nm領域での高精度測定
    ダブルモノクロメータ+モニタダブルビーム方式採用により、測光再現性が0.03%以内です。

  • 透過・反射測定の切換が容易
    試料のハンドリングが容易で、透過測定と5°または45°入射反射測定の配置が選択できます。

  • 短時間で測定開始
    パージ効率を上げ、光路内の淀みを無くし、短時間で測定準備が終わります。

■仕様
波長範囲 115〜200nm(オプション:〜320nm)
測光再現性 157nm近傍において標準偏差:σ=0.03%以下
分光器 凹面グレーティング ダブルモノクロメータ、モニタダブルビーム方式
波長分解能 1〜3nm
光源 D2ランプ
検知器 光電子増倍管
パージ 窒素置換(試料部別置換可能)
入射角度 透過率及び5°、45°入射反射率(標準)
オプション測定 絶対反射率測定、偏光測定