| 測光方式 |
: |
シングルモノクロダブルビーム方式 |
| 分光器 |
: |
ツェルニターナマウント光学系 |
| 光源 |
: |
重水素光源、ハロゲン光源(自動切換) |
| 測定範囲 |
: |
250〜2000nm |
| スペクトルバンド幅 |
: |
1、2、5、10nm(2、4、8、20、40nm)※ |
| 波長正確さ |
: |
±0.3nm |
| 波長再現性 |
: |
±0.1nm(±0.4nm)※ |
| 検出器 |
: |
光電子増倍管、PbS検出器(自動切換) |
| 試料観察 |
: |
ビデオカメラによる(オプション:二眼鏡筒、試料観察用偏光子) |
| 対物鏡 |
: |
カセグレイン方式反射対物鏡(×10倍、×16倍、×32倍、選択) |
| 試料サイズ |
: |
30μm×30μm〜(測定条件:カセグレイン32倍使用時、スペクトルバンド幅 40nm) |
| 測光モード |
: |
%T, %R, Abs, Sam, Ref(透過・反射測定切換方式) |
| 測定モード |
: |
スペクトル測定、時間変化測定、固定波長測定 |
| 偏光子/検光子 |
: |
グランテーラー(オプション) |
| 制御/データ処理 |
: |
32 bit AT互換機 プログラム:スペクトルマネージャ |
| 試料ステージ |
: |
手動(自動ステージはオプション) |
| オプションプログラム |
: |
マッピング測定プログラム、膜厚計算プログラム、カラー診断プログラム |
| その他 |
: |
架台標準搭載 |