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ARMV-734/ARMN-735型　自動絶対反射率測定ユニット

絶対反射システム

試料室画像 		自動絶対反射率測定ユニットは、V-600シリーズと組み合わせることにより、半導体、薄膜、光学素子、光デバイスなど各種固体試料の分光特性や膜厚などを測定するシステムです。入射角は試料ステージを回転させることにより設定し、受光角は積分球をスライドさせることにより制御します。また、入射角と受光角は非同期モードで個別に設定できます。さらに、P偏光とS偏光の指定や偏光子の角度の任意設定により、試料の偏光特性を調べることも可能です。

■特長
  • 入射角度設定やスペクトル測定などの条件設定をPCで直接制御

  • 紫外から近赤外域まで測定波長範囲が広い

  • ダブルビーム光学系による優れた測光安定性

  • 入射角、受光角が個別に制御可能

  • 偏光測定機能を標準搭載

  • 専用試料ホルダにより試料の脱着が簡単
■仕様
測定波長範囲
 ： 250〜850nm（ARMV-734）、250〜2000nm（ARMV-735）
試料サイズ ： 最小20(W)×20(H)×1(t)mm〜最大70(W)×70(H)×10(t)mm
測定モード ： 絶対反射率測定、透過率測定
入射角 ： 5°〜60°（絶対反射率測定）、0°〜60°（透過率測定）
角度間隔 ： 0.1°ステップ
偏光子 ： S偏光（0°）、P偏光（90°）、N偏光（45°）、任意設定

※ARMV-734はV-650、660用、ARMN-735はV-670 用です。