また、添加剤の不均一性が原因で生じた異物は、性能の向上にも障害となります。さらに製造プロセス時に発生する欠陥も、デバイス開発の上で大きな問題になっています。このような異物、欠陥の分析において無機物に対してはX線や電子線を用いた分析が行われています。しかし、有機物などの分析には顕微赤外法が極めて有効です。
| 赤外顕微鏡 IRT-3000 |
|
工業製品の高性能、高機能化が進むにつれて、製造過程で混入する微小異物の発生を防ぐことが重要になっています。その混入経路を断ち、歩留まりを上げることは製品コストを下げることにつながります。 また、添加剤の不均一性が原因で生じた異物は、性能の向上にも障害となります。さらに製造プロセス時に発生する欠陥も、デバイス開発の上で大きな問題になっています。このような異物、欠陥の分析において無機物に対してはX線や電子線を用いた分析が行われています。しかし、有機物などの分析には顕微赤外法が極めて有効です。 |
■特長
IRT-3000は、光学系の全面的な見直しによりスループットを大幅に向上させ、S/Nのアップをはかりました。 試料の観察方法は、TVモニタタイプにし、サンプル位置の確認やアパーチャーサイズの設定を全てCRT上から行います。アパーチャーの設定は、PCの顕微画像上から操作が行えるオートアパーチャー方式を採用しています。 透過測定では試料の厚さや屈折率により、標準のカセグレン位置では赤外光の焦点位置がずれ、高感度で精度の良い測定ができないことがあります。IRT-3000には、下部集光カセグレインの高さ方向の位置を自動で調整する機能が標準で搭載されています。 検出器は同時に2個装着することができ、PCから切り換えて使用できます。標準でミッドバンドMCT検出器を搭載し、オプションでナローバンドおよびワイドバンドMCT検出器を用意しています。さらに、高性能赤外顕微鏡として初めてDLATGS検出器にも対応しました。測定波数範囲も400cm-1まであるので、定性分析における解析に有効です。また、InSb検出器とInGaAs検出器にも対応し、近赤外FTIRと組み合わせることにより、近赤外顕微システムを構築することができます。 自動ステージシステム IR Profile System IR Profile Systemは、X-Y-Zオートステージとマッピングプログラムから構成され、IRT-3000と組み合わせることにより赤外顕微鏡の機能を飛躍的にアップすることができます。IR Profile Systemは、オートフォーカス、マッピングや直線測定、多点測定、ATRマッピングを可能にします。フォーカス合わせもオートフォーカス機能により、自動で行われます。またATRマッピングのときも自動Zステージと圧力センサ（オプション）により、各測定ポイントで自動的に同じ圧力でプリズムと試料を密着させるので、精度の高いATR マッピングが行えます。 |
■仕様
■ IRT-3000仕様 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ステージ移動機能