測光方式 透過・反射両用 観察方式 CCDカメラ内蔵、小型液晶モニター搭載、ATOS方式 試料ステージ X-Y、Z軸調整可、マニュアルステージ アパーチャ 2軸独立可変(電動) パージ スマートパージシステム(FT/IR-4000、6000のみ対応) 観察用照明 高輝度白色LED(輝度調整付き)