| レーザラマン分光光度計 |
| レーザラマン分光光度計は、物質に励起光であるレーザ光を照射し、そこから散乱される物質特有のラマン散乱光を測定する装置です。特別な前処理やサンプリングを必要とせず、非破壊で測定することができます。また、温度や圧力、その他の条件を変化させながら測定することもできます。測定されたデータから分子種、原子団の種類、結晶構造に関する情報を、レーザの偏光を利用して結晶軸、結晶面、分子配向の情報を得ることができます。また、レーザ光を励起光として使用するため、顕微鏡と組み合わせることによりμm単位のサンプル領域を測定することができます。半導体分野では、Siデバイスの微小領域でのストレスの評価やDLC膜の品質管理、あるいはウェハー上の異物の分析などに使われています。 |
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ラマン分光法の特長
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レーザラマン分光光度計 |