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株式会社 ケーサイエンス 〒305-0045 茨城県つくば市梅園2-23-29 TEL 029-856-6300 FAX 029-856-6301 e-mail：vac@k-science-inc.com |
| 取扱い製品 |
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株式会社 ケーサイエンス 〒305-0045 茨城県つくば市梅園2-23-29 TEL 029-856-6300 FAX 029-856-6301 e-mail：vac@k-science-inc.com |
| 取扱い製品 |
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| 管内壁スパッタ源 | 石英シールドスパッタ源 | 水平型スパッタ源 | 複合型スパッタ源 (スパッタ+抵抗加熱+Eガン) |
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| 標準スパッタ装置 | スパッタ装置(LL付) | 特殊多層膜スパッタ装置 |