■特　徴

• 高性能・低価格PLマッピングシステム
• ルミネッセンス特製は紫外から近赤外まで幅広く測定可能。
• 卓上サイズでセットアップ、操作は簡単。
• 2インチ・4インチウエハーの膜厚・PL特製(ピーク強度、波長、半値幅、積分強度)を全面測定し、2次元マッピング表示可能。