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名古屋大との共同研究において開発する。
- コンパクト窒素酸化物測定装置の開発：400nm付近の紫外半導体レーザーを光源としてレーザー誘起蛍光法を用いたコンパクトな窒素酸化物測定装置を開発する。 市販品に比べて感度が高くまた精度が高いのが特徴であり、さらにメンテナンスに優れている。この装置により、大気中および自動車排ガス中の窒素酸化物の測定を行うことができるようにする。
- PM2.5粒子個別分析装置の開発：エアロゾル粒子を真空中に導入して、紫外のパルスレーザーを照射してアブレーションおよびイオン化する。 飛行時間型質量分析装置により分析して、土壌粒子・海塩粒子・ディーゼル黒鉛などの区別を粒子ごとに明確に分類できるようにする装置を開発する。健康に有害なPM2.5の粒子の正確な個別分析を行う。
個別粒子のレーザーイオン化質量分析器は国内で名古屋大の研究グループでのみ開発が進んでいる。 海外では既に数グループで研究が行われているが しかしながら自動車エンジンの排ガスに焦点を当てた機器は国際的にもほとんどない。 当社で開発する装置は、都市の交通量の多い地域の大気中の健康被害に関連する粒子、自動車排ガスや工場排ガスそのものの分析に特化したものであり、非常にユニークであると考えている。
また、この技術は、半導体プロセス装置内の微粒子計測にも応用される。
・ 窒素酸化物測定装置
・ 微粒子計測装置
・ 半導体プロセスガス微粒子計測装置 |
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