６インチ、８インチウエハーの研磨むらを効率よく修正します。 ジョイスティックにより試料位置を制御できるＸＹテーブルと、空圧により上下する研磨ディスクから構成されています。 XYテーブル 試料ホルダー ： 200mmφ 可動範囲 ： 300mm×200mm　X:200　Y:300 移動速度 ： 100mm/sec　max ジョイスティック ： 連続可変 耐荷重 ： 30kg 研磨ディスク 径 ： 20〜100mm スピンドル回転 ： 2000rpm　max 上下移動範囲 ： 50mm 空圧 ： 8kg 本体 塩ビカバー ： 標準装備 寸法 ： 750mm(W)×1020mm(D)×1402mm(H) 重量 ： 250kg 電源 ： 100V　15A