・ 研磨量を設定し、自動で必要量の研磨が可能です。
・ 研磨量の設定精度は±1μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)、バックラッシュゼロのストッパー付きです。無荷重タイプ、ウェハーの直引きタイプ、埋込樹脂用もあります。
・ 2"φ, 3"φ, 4"φ, 6"φ用がそろっています。その他特注品もお受けします。
・ 透過電子顕微鏡の試料作成用です。
・ 研磨量の設定精度は±5μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)。無負荷タイプもあります。ご希望角度の斜め研磨用貼付ホルダーも用意できます。
・ 貼付ホルダー径 ： 40mmφ、52mmφ
・ 最少10μmの目盛りで研磨量を設定できます。標準は平板の貼付ホルダーですが、斜め研磨用ホルダー、挟み付けホルダー等の取り付けも可能です。
・ 貼付ホルダー径 ： 2"φ, 3"φ標準、その他特注品もお受けします。
・ ３ヶのダイヤモンドストッパーが、ネジ込みになっており、研磨量を調整できます。又傾きの調整も可能です。
・ 78mmφ, 107mmφ, 130mmφを用意しています。
・ ガイドシリング付きホルダーと平板ホルダーの２種類を用意しています。貼付面 (裏面) に平行に研磨を行うときは、ガイドリング付きを、既に平行の出ている材料や、研磨面に習って研磨を行うときは平板ホルダーを使用します。
・ 貼付ホルダー径 ： 78mmφ, 107mmφ, 130mmφを用意しています。
先端部の治具(貼付、挟み付け、斜め研磨)を取り替えることにより、多目的な研磨を行うことが出来ます。LN の端面研磨では、挟み付け治具を用いて、LNサンプルを外さずに治具を 裏返すことにより、両端面の平行研磨が可能です。
・ 斜め研磨治具は標準5度ですが、分のオーダーで指定が可能です。
・ 貼付ホルダー ： 40mm×30mm
・ 挟み付けホルダー：16W×16H×4tmm
・ 斜め研磨ホルダー：40mm×20mm
・ 25mmφ(25.4φ)……3ヶ掛け・6ヶ掛け
・ 30mmφ(31.8φ)……3ヶ掛け・6ヶ掛け
・ 40mmφ(38.2φ)……3ヶ掛け
・ MA-150用は25mmφ3ヶ掛けのみです。又、特注にて各種サイズお引き受けします。
・ 埋め込み用モールドの材質は、ポリエチレン、シリコンラバー、テフロンを用意しています。
・ 板状試料の端面やブロック状試料を埋め込まず直接はさみつけて研磨します。
・ 試料は3ヶ組で研磨します。
写真左 MA-300用、写真右 MA-200用
・ ３ヶの試料を挟み込み、ガイドリングを用いて、直角に研磨します。試料を外さずに上下面を研磨できるので、平行に仕上げることができます。試料サイズによりご希望の厚さの治具お引き受けします。角度付きも可能です。
・ LT. LN端面、光ファイバー用もお引き受けします。
X線回折装置への取り付けアタッチメント (コロ方式)
・ X線回折装置に取り付けて２軸の方位を修正して研磨します。
| サンプルサイズ | ： | 30mmφ×5t |
| 角度 | ： | ±5度 |
| 精度 | ： | 0.5分 |
| 対象X線装置 | ： | 理学電機社製X線回折計 マック・サイエンス社製X線回折計等 対象装置についてはご相談下さい。 |
| 研磨機 | ： | MA-200 MA-200D MA-300D MA-400D |
簡易型２軸ゴニオメータ研磨治具
・ X線ラウエカメラのレールに取り付けるアタッチメントを用いることによって、２軸の方位を修正して研磨します。
| サンプルサイズ | ： | 30mm |
| 角度 | ： | ±10度 |
| 最少読みとり | ： | 0.1度(バーニヤ) |