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 特 長
- １２インチまでのけがきが可能
- 手動で簡単操作
- 位置決め用に１０μmのリニアスケールを採用
- 低価格を実現
仕様 SC-300
| ウェハーサイズ |
: |
最大300mmφ |
| X軸方向 |
: |
ロック機構付き |
| 実ストローク |
: |
325mm |
| 計測可能範囲 |
: |
300mm |
| Y軸方向 |
: |
ロック機構なし |
| 実ストローク |
: |
325mm |
| 計測可能範囲 |
: |
300mm |
| XY スケール |
: |
最少読み取り0.01mm、ゼロリセット付き |
| 回転テーブル |
: |
ウェハーは回転テーブルゴムパット上に安置 |
| サイズ |
: |
320mm |
| 回転角度 |
: |
360° |
| けがき針 |
: |
ローラ刃 |
| 荷重方式 |
: |
手動による任意 |
| 大きさ |
: |
500mm(W)×485mm(D)×178mm(H) |
| 重量 |
: |
約25kg |
12インチ用割断機 オプション
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