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高温超伝導SQUID走査型磁気顕微鏡システム
Model SMM-770
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Model SMM770は高温超伝導の量子干渉磁束計(SQUID)を用いた、高空間分解能の磁気顕微鏡システムです。 オプションの外部バイアス磁場(AC&DC)により帯磁率や渦電流の検出により被試料体の幅が広がります。 半導体、非鉄金属や回路パターン等の非接触による欠陥検査等に最適です。
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概 念 図
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| 基本性能 |
| 空間分解能 |
50 μm |
| 最高感度 |
2 x 10 -11 tesla/√Hz (20 pT/√Hz) |
| 有効帯域幅 |
dc - 10 kHz. |
| 液体窒素保持時間 |
3日 |
| 有効走査範囲 |
15 cm x 15 cm (x-y) |
| 走査分解能 |
25μm 以上(Adjustable) |
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| *Lo-Tc (Nb) SQUID のSMMも取り扱っております。 |