低価格・高真空 マイクロプローバー＆チャンバー E シリーズ |
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E シリーズ仕様
| プローブ本数 | 2〜4本（6本まで可能） |
| 到達真空度 | 2×10-4Pa |
| 探針移動距離 | 微調：X 軸( 左右) ± 5mm、Y 軸( 前後) ± 6mm、Z 軸( 上下) ± 4mm 粗調：X 軸( 左右) ± 4.5mm、Y 軸( 前後) ± 10.0mm |
| 冷却・加熱温度範囲 （オプション） |
約30K〜473K、60K〜473K、80K〜723K、90K〜473K、100K〜723K、 −120℃〜70℃、−100℃〜200℃、室温〜300℃、450℃ 等 ※ご要望の温度範囲により打合せの上、冷却・加熱方式を選択可能。詳細はお問い合わせください。 |
| チャンバーサイズ | 外径：120mmφ 高さ：35mm 内径：80mm |
| ワーキングディスタンス | 17.5mm |
| チャンバー材質 | ◎標準仕様：アルミニウム ◎オプション：ステンレス |
| 探針材質 | タングステン |
| ビューポート | ◎標準仕様：簡易取外し式、パイレックスガラス ◎オプション：クランプ 式、サファイアガラス、石英ガラス |
| フィードスルー | ◎標準仕様：BNC コネクタ ◎オプション：TRIAX |
| 真空排気弁 | NW25 アングル弁 |
| 全体の大きさ／重さ | 幅300mm×奥行き300mm×高さ65mm ／ 約 8kg |
＊本モデルの概観及び仕様に付きましては、性能向上のためお断り無く変更する場合があります。
