超高真空・高真空マイクロプローバー＆チャンバー

＊GM冷凍機、LHe／LN２フロー、超小型冷却・加熱器等各種の冷却加熱機構を組込選択可能
＊IV, CV, PL, EL 測定、半導体特性測定、ホール効果測定、DLTS測定等 各種測定用
＊標準規格のフランジを採用しているため将来の拡張、機能追加、変更等が容易

標準仕様の常温試料ステージ以外に、冷却・加熱機構組込モデル、900℃加熱機構組込モデル、
CF203単ポート組込モデル、薄型チャンバーモデルとしてホール計測用、光学・透過光用など各種
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	新製品　E シリーズ
	低価格・高真空　マイクロプローバー＆チャンバー

＊IV、CV、PL、EL測定、半導体特性測定、ホール効果測定、DLTS測定等各種測定用
＊XYZ軸の可動範囲が大きい
＊オプションの冷却・加熱機構は温度範囲により各種の冷却・加熱方式を組込可能
＊Eシリーズは特注により試料サイズ２〜６インチ用の可動ステージとチャンバー、マイクロプローブの組み合わせが可能

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	マイクロプローブ方式　温度・磁界可変ホール効果測定システム

マイクロプローブ式は水平スライド機構により試料のセットが簡単に行え、冷却・加熱による測定電極の外れが無いなどの特徴があります。　測定ソフトは日本語LabVIEW。

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	超高真空用TRIAXフィードスルー（３ラグ）CF34に１個付、CF70に４個付