超高真空・高真空 マイクロプローバー＆チャンバー |
各種の冷却・加熱機構組込
（液体ヘリウム・液体窒素フロー、GM冷凍機、超小型冷却器等）
iUシリーズ 超高真空・高真空仕様 (2×10-8Pa・2×10-5Pa)
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パルス冷凍機組込モデル |
＆チャンバー（95K〜450℃） |
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各種の冷却・加熱機構組込 （液体ヘリウム・液体窒素フロー、GM冷凍機、超小型冷却器等） iUシリーズ 超高真空・高真空仕様 (2×10-8Pa・2×10-5Pa)
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iH＆iOシリーズ 高真空仕様／薄型チャンバー |
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Model iU/iH/iO シリーズ仕様
| 全シリーズ共通 | iUシリーズ | iH/iOシリーズ | |||
| 到達真空度 | iUシリーズ 2×10-8 Pa iH/iOシリーズ 2×10-5 Pa |
冷凍機構組込みの場合の 最低冷却温度 |
約12K(LHe) 約100K(LN2) |
約100K |
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| チャンバー材質 | ステンレス | 加熱機構組込みの場合の 最高加熱温度 |
900℃ |
450℃ |
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| 試料ステージ大きさ | 最大30ｍｍø | チャンバーの大きさ | 114ø×80mm | 98ø×34mm | |
| 探針移動距離 | X軸 ±10mm Y軸 ±6.5mm Z軸垂直方向 ±2.5mm |
チャンバー有効内径 | 63.5mmø | 62mmø | |
| プローブ 本数 | 最大6本まで追加可能 | ワーキング ディスタンス | 40mm | 15mm | |
| 探針 | タングステン | 全体の大きさ | 300×300×50〜80mm | ||
| 重さ | 8〜17Kg | ||||
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ホール測定用薄型真空マイクロプローバー＆チャンバー |
Model iHシリーズ
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