超高真空用　TRIAX フィードスルー（3ラグ）
（CF70/CF34フランジ付、真空側はSMAコネクタ）

• 気密性：1×10^-10Pa・m³／s以下
• 絶縁抵抗：1GΩ以上（常温、常湿、500V 印加）
• 耐電圧： AC 100V(大気圧下1分印加)