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■真空、電子顕微鏡機器の原理と仕組み スパッタの原理 ・クイックコーターＳＣシリーズでも使用されているコーティング（成膜技術）、スパッタ法の原理を解説します。 スパッタとは 原理 歴史 語源 成膜法の分類 特徴 色々な方式 DC（直流）スパッタ RF（高周波）スパッタ マグネトロンスパッタ イオンビームスパッタ 装置の構成 利用法 関連リンク 真空蒸着の原理 ・ＳＶＣシリーズなどで行われる真空蒸着について解説します。 真空蒸着とは・原理 歴史 特徴 装置の構成 真空ポンプの種類と原理 ・電子顕微鏡、スパッタ装置、電子ビーム応用機器には必ず必要な真空ポンプについて解説します。 真空ポンプの種類 ロータリーポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ（TMP） イオンポンプ 反射電子による３次元表面計測の原理 ・電子顕微鏡による反射電子解析で、試料表面の微少な凹凸を計測する装置を解説します。 電子顕微鏡で表面計測 走査型電子顕微鏡 電子線の挙動 組成像、凹凸像 ６分割反射電子検出器 電子線描画システムの原理 ・電子ビームを使い試料表面に微細な絵を描く装置を解説します。 半導体やナノマシン開発に使用されています。 電子線描画のはじまり リソグラフィ フォトマスク作成 ベクタースキャン ラスタースキャン SEM後付型描画装置 立体画像観察装置・３Ｄ−ＳＥＭの原理 ・電子顕微鏡で３次元、立体視がその場で（実時間で）行える装置を解説します。 マイクロマシンの組立や、金属破断面の観察に実績のある装置です。 3Dとは なぜ立体に見えるか 両眼視差で３次元表示 （番外）本当の立体表示 両眼視差画像 電子顕微鏡による両眼視差画像 立体画像観察装置 3D-SEM
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