真空・分析・機構関連製品

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Ferrovac社（スイス）ウォーブルスティックマニピュレータの説明

フェロバック社は、スイス連邦工科大学(ETH、チューリッヒ)からスピンオフした企業で、ETHで開発されたマグネットカップリングと溶接べローズシールによる精密ウォーブルスティックを製品化しました。特に超高真空内でのデリケートで精密なマニピュレーションのためにデザインされました。大気側と真空側にダブルにセットされた希土類マグネットが、直線・回転運動を行うために使われます。またダブルシャフトによりピンサーグリップを作動させることもできます。
従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特筆すべき特長を有したウォ−ブルスティックですので、そのシャフトは、滑らかにコントロールすることが出来ます。ハンドルを放しても、シャフトは同じポジションを保持します。
UHV-SPMでのサンプル搬送、そしてチップ、カンチレバー交換のように、更にデリケートな取扱いを要求されるところで、日常の些細なルーチンワークのように簡単に取扱いができるようになります。チャンバー内の繊細な装置への損傷のリスクは最小に押さえられます。また実際に使用して頂ければ、その効果を実感して頂けるものと確信しております。

ウォ−ブルスティック ウォ−ブルスティック
使用例：超高真空に引かれている状態でウォ−ブルスティック（WM40型）は
任意の位置を保持しています。
写真のご提供:物質・材料研究機構：内橋様

シングルシャフト・ウォーブルスティック

●シングルシャフト・ウォーブルスティック
これは、特に超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±20°
  2. 直進力：30N
  3. トルク：0.5Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量：<1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］
  • WM40-100：100mm
  • WM40-150：150mm
  • WM40-200：200mm

ワイドアングル・シングルシャフト・ウォーブルスティック

●ワイドアングル・シングルシャフト・ウォーブルスティック
これは、特に動作角度範囲が大きく、超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真 空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±30°
  2. 直進力：30N
  3. トルク：0.5Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量：<1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］

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Ferrovac社 ダブルシャフト・ウォーブルスティックマニピュレータ

ダブルシャフト・ウォーブルスティック

●ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」 という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。各種ピンサーグリップが用意されています。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±20°
  2. 直進力：23N
  3. トルク：0.4Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］

ダブルシャフト・ウォーブルスティック

●オミクロンピンサーグリップ付ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、オミクロンピンサーグリップを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気 圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±20°
  2. 直進力：23N
  3. トルク：0.4Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］

ダブルシャフト・ウォーブルスティック

●A型ピンサーグリップ付ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、ピンサーグリップを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真 空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±20°
  2. 直進力：23N
  3. トルク：0.4Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］

ダブルシャフト・ウォーブルスティック

●A型ピンサーグリップ付微調整型ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、ピンサーグリップの開閉が微妙に調整できるネジを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます。
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±20°
  2. 直進力：23N
  3. トルク：0.4Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］
直交型ピンサーグリップ付
直交型ピンサーグリップ付 		WMG-TS：シャフトサポート付
WMG-TS：シャフトサポート付

●直交型ピンサーグリップ付ダブルシャフト・ウォーブルスティック
これは、オミクロンサンプルプレート用直交型ピンサーグリップを装備して超高真空内でのデリケートで精密な操作のためにデザインされ、従来のものに比べて 「シャフトの動きが大気圧と超高真空圧の差の影響を受けない」という特長を有したウォーブルスティックですので、滑らかに制御することができます
⇒ICF70取付フランジ図参照

仕様
  1. 動作角度：±20°
  2. 直進力：23N
  3. トルク：0.4Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-11Pa・m3/sec
  7. UHV対応
［型番・移動距離］
シャフトサポート ●WMH-FC：WMGモデル用微調整アダプター
これは、ピンサーグリップの開閉が微妙に調整できるようにするためのネジタイプのアダプターです。WMGシリーズウォーブルスティックに装着できます。
●WMG-TS：シャフトサポート
これは、ロングストローク用に強固な安定性を保持するために用意された外付のシャフトサポートです。 		ICF70取付フランジ ●ICF70取付フランジ
左図は、WM40シリーズ及びWMG40シリーズウォーブルスティックの動作角度を最大限にいかすためのフランジ取付の推奨図です。
仕様
  1. 移動距離：6mm
  2. ベーキング温度：150°

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Ferrovac社 ウォーブルスティックアクセサリ

フォーク ●FRK-330：ストレートサンプルフォーク
これは、サンプルホルダー及びドライバー（左図）を操作するためにWM40シリーズのウォーブルスティックと組合わせて使用されます。
フォーク
ピン仕様 型番
A型ピンサーグリップ ●PG-HJS：A型ピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティックにマウントされるように設計されています。ハサミの部分が対称的に開きます。顎部及びスリット部は、指定できます。
仕様 型番
OMピンサーグリップ ●PG-HJS-OM：OMピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティック及びMDG40シリーズの直線回転導入機にマウントされるように設計されています。スリット部の寸法は、オミクロンサンプルプレートに適合します。
仕様 型番
ロングピンサーグリップ ●PG-HJS-OML：ロングピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティック及びMDG40シリーズの直線回転導入機にマウントされるように設計されています。スリット部の寸法は、オミクロンサンプルプレートに適合します。
仕様 型番
直角型ピンサーグリップ ●PG-OMP：直角型ピンサーグリップ
WMG40シリーズのウォーブルスティックにマウントされるように設計されています。スリット部の寸法は、オミクロンサンプルプレートに適合します。ハサミの片側だ けが開きます。
仕様 型番
ストレートピンサーグリップ ●PG-OMS：ストレートピンサーグリップ
オミクロン製でWMG40-OMSウォーブルスティックにマウントすることができます。それによってオミクロンサンプルホルダーの操作に回転の自由度が持たされます。
仕様 型番
P型ピンサーグリップ ●PG-PJS：P型ピンサーグリップ（UHVピンセット）
WMG40ウォーブルスティックに装着され微調整アダプタWMH-FCと組合せて、UHV中での極端にデリケートな操作のために一対の精密なピンセットのように使用されます。電気的コンタクトも装着可能。パラレル開閉作動。
ピン仕様 型番

●PG-FES-OM：J型ピンサーグリップ
WMG40ウォーブルスティックに装着されるように設計されています。ハサミの片側だけが開きます。オミクロンサンプルプレートに適合します。

ピン仕様
  • 開閉量：12mm
型番
  • PG-FES-OM

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Ferrovac社 直線回転導入機（安価版）

ミニチュアシングルシャフト直線回転導入機

●ミニチュアシングルシャフト直線回転導入機：ICF34
これは、超高真空対応でオールメタルシールのコンパクトなICF34直線回転導入機です。特別に開発されたシートベアリングにより、非常に多くのベーキングサイクルの後でさえ滑らかな操作性を保証いたします。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。ロングストローク用に強固な安定性を保持するために外付のシャフトサポートが用意されています。

仕様
  1. 直進力：30N
  2. トルク：0.5Nm
  3. フランジ：ICF34
  4. ベーキング温度：150°
  5. Heリーク量：<1x10-11Pa・m3/sec
  6. UHV対応
型番・移動距離
  • MD16-150：150mm
  • MD16-200：200mm
  • MD16-300：300mm
  • MD16-450：450mm

シングルシャフト直線回転導入機

●シングルシャフト直線回転導入機：ICF70
これは、超高真空対応でオールメタルシールのコンパクトなICF70直線回転導入機です。特別に開発されたシートベアリングにより、非常に多くのベーキングサイクルの後でさえ滑らかな操作性を保証いたします。駆動部も直径23.7mmとコンパクトです。ロングストローク用に強固な安定性を保持するために外付のシャフトサポートが用意されています。

仕様
  1. 直進力：30N
  2. トルク：0.5Nm
  3. フランジ：ICF70
  4. ベーキング温度：150°
  5. Heリーク量：<1x10-11Pa・m3/sec
  6. UHV対応
型番・移動距離
  • MD40-300：300mm
  • MD40-400：400mm
  • MD40-450：450mm

●ダブルシャフト直線回転導入機（仕様・図面はお問い合せ下さい）

型番・移動距離
  • MDG40-450：450mm（ピンサーグリップ用アダプター付）
  • MDG40-450-HJS-OM：450mm（オミクロン用ピンサーグリップ付）
  • MD40-600：600mm （ピンサーグリップ用アダプター付）
  • MD40-600-HJS-OM：600mm （オミクロン用ピンサーグリップ付）

外付シャフトサポート

● TS-MD：外付シャフトサポート
これは、ロングストローク用に強固な安定性を保持するために用意された外付のシャフトサポートです。

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Ferrovac社 サンプルトランスポータ / ロードロックシステム

トランスファーロッド

●GMDシリーズ：トランスファーロッド
これは、超高真空対応でオールメタルシールされた安価なICF70トランスファーロッドです。特別に開発されたシートベアリングにより、非常に多くのベーキングサイクルの後さえ滑らかな操作性を保証いたします。

仕様
  1. 直進力：〜70N
  2. トルク：〜5Nm
  3. フランジ：ICF70
  4. ベーキング温度：150°
  5. Heリーク量 <1x10-11Pa・m3/sec
  6. UHV対応
型番・移動距離
  • GMD40-500：500mm
  • GMD40-750：750mm
  • GMD40-1000：1000mm

ロードロック

●KS40シリーズ：ロードロック
これは、サンプルを清浄状態で素早くUHVシステムに投入するように設計されています。直径35mmのサンプルまでハンドリングできます。サンプルは、MD16直線回転導入機で後部のバイトンシールのドアから導入します。標準KS40シリーズの材料は、SUS304Lです。

仕様
  1. 移動距離：300mm
  2. 直進力：30N
  3. トルク：0.5Nm
  4. フランジ：ICF70
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-10Pa・m3/sec
  7. UHV対応
型番・移動距離
  • KS40-MD16-300-ST：300mm
  • KS40TI-MD16-300：300mm

ロードロック

● KS63シリーズ：ロードロック
これは、サンプルを清浄状態で素早くUHVシステムに投入するように設計されています。直径35mmのサンプルまでハンドリングできます。サンプルは、MD16直線回転導入機で後部のバイトンシールのドアから導入します。標準KS63シリーズの材料は、SUS304Lです。

仕様
  1. 移動距離：300mm
  2. 直進力：30N
  3. トルク：0.5Nm
  4. フランジ：ICF114
  5. ベーキング温度：150°
  6. Heリーク量 <1x10-10Pa・m3/sec
  7. UHV対応
型番・移動距離
  • KS63-MD16-300-ST：300mm
  • KS63TI-MD16-300：300mm

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Huntington Mechanical Laboratories社（米国）直線回転導入機

直線・回転導入機

ストローク:25mm〜254mm
型式:ノブ・プッシュプル・ラック&ピニオン・マイクロメータ・モータ駆動・空圧

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Larson社（米国）ビューイングポート

ビューイングポート

窓材：ガラス、溶融・合成石英、サファイア、CaF2、MgF2、LiF、BaF2、SiO2、Ge、ZnSe、KBr
低価格でご提供しています

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国内製真空配管部品

真空配管部品 真空配管部品 真空配管部品 真空配管部品 真空配管部品
真空配管部品 真空配管部品 真空配管部品 真空配管部品 真空配管部品
銅ガスケット・フレキシブルチューブ
クランプ・センタリング
低価格でご提供しています

チューブ付フランジ
チューブ付フランジ
（NW25/L=50/外径：φ6.35/内径：φ4.35）

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California Fine Wire社（米国）UHV用被覆電線

UHV用被覆電線 UHV用被覆電線

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Solid Sealing Technology社（米国）電流導入端子

電流導入端子 電流導入端子

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Ferrovac社（スイス）UHV対応乾式潤滑コートベアリング

UHV対応ベアリング UHV対応ベアリング UHV対応ベアリング

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分析関連製品

Chell Instruments社（英国）ミニチュアK-セル

ミニチュアK-セル ミニチュアK-セル

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Ferrovac社（スイス）エバポレータ

エバポレーター

●EV40-FC：水冷型エバポレーター
これは、超高真空中での薄膜デポジション用の水冷型エバポレーターです。 また、10-8Pa以下の真空度で広範囲の材料のために使うことができます。 コントロール用の電源は含まれていません。
付属：タングステンるつぼ/1個。

電源仕様
  1. 低電圧：DC 0-30V / 3A
  2. 高電圧：DC 0-700V pos. / 100mA
型番

エバポレーター

●EV40-FC-KIT：水冷型エバポレーター組立キット
これは、EV40-FCの組立キット版で、薄膜デポジション用水冷型エバポレーターを組み立てるために必要な部品がすべて含まれています。

仕様 型番

エバポレーター

●EV40-FC-KIT-BASIC：水冷型エバポレーター組立基本キット
これは、EV40-FC-KITと全く同じ構成ですが、電流導入端子と回転導入機が含まれていない組立キットです。

仕様 型番

●EV40-FC-SK： EV40-FC用スペアパーツキット
これは、使用済みEV40-FCの再組立に必要なスペアパーツキットです。
［内容］

  1. フィラメントホルダー（Mo）：1個
  2. フィラメントロッド（Mo）：4個
  3. るつぼマウントロッド（W/Mo）：1個
  4. アイソレーター（マコール）：1個
  5. シールディングプレート（銅）：1個
  6. タングステンフィラメント（φ0.15mm）：4個
型番

●EV40-HW：エバポレーター用水冷ハウジング

型番
  • EV40-HW

●FCR-MO：モリブデンるつぼ
［適用材料］Au, Ag, Cu ［容量］500mm3

型番

●FCR-W：タングステンるつぼ
［適用材料］Ni, Co, Fe, Au, Ag, Cu ［容量］500mm3

型番

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機構関連製品

振動防止用空気バネ

振動防止用空気バネ 振動防止用空気バネ使用例

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超小型UHVチャンバー

超小型UHVチャンバー

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簡易型XYステージ

簡易型XYステージ 簡易型XYステージ

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ベローズ外付ウォーブルスティック

ベローズ外付ウォーブルスティック

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配管振動防止おもり

配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり 配管振動防止おもり

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ステージ付AFM測定装置

ステージ付AFM測定装置

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ハンディAFM

ハンディAFM

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