(株)サーモ理工

主要製品
■赤外線導入加熱装置 GV シリーズ
   * 1500℃まで1分で昇温
   * 周りを加熱せず試料のみクリーン加熱
サーモ理工_SR1800G
SR1800G
サーモ理工_GVL298N
GVL298N
■集光照射式赤外線真空炉 IVF シリーズ
   * 真空チャンバー内試料に赤外線を集光・昇温
   * 1500℃まで高速昇温
■均温熱処理装置 GFA シリーズ
   * 均温容積が大きく、シリコンウエハー等の熱処理に最適
 
■超高温スーパーRTA装置 SR シリーズ
   * グラフェンの精製に最適
   * 1800℃まで30秒で昇温
■新着情報
   * 赤外線導入加熱装置GA298
   * 短納期、手頃な5機種
■その他
   機種選択案内
   * ご希望に合わせてお選びください。

イベント情報
■2016.11.8 - 9 先進パワー半導体分科会 付設展示会 つくば国際会議場
■2017.3.14-17 応用物理学会付設展示会 パシフィコ横浜
■2017.3.15-17 日本金属学会付設展示会 首都大学東京

熱処理方式
サーモ理工_熱処理方式

株式会社サーモ理工
〒181-0013 東京都三鷹市下連雀 8-7-3 三鷹ハイテクセンター
TEL:0422−76−2511 FAX:0422−76−2514
Thermo Riko UK (Europe Sales Contact)
Japan Vacuum Instruments http://thermo-riko.co.uk/

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