真空チャンバー上部を開口し、試料のセット、真空中の高温高速熱処理、ガス雰囲気中加熱もできます。
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特長
電気抵抗測定用
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試料を均一な温度分布で熱処理できます。
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特長
電気抵抗測定用
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写真下部の小さい試料に赤外線を集光照射し、短時間に昇温。
非接触加熱なので熱源からの汚れはなくクリーン加熱ができます。
使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理 |
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高温型の赤外線放射部のユニット製品です。 小面積部に赤外線を集光照射、クリーン加熱ができます。補助ミラー・支持スタンドはオプションです。
※補助ミラー付きで、1500℃、1300℃ 使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理 |
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標準型の赤外線放射部のユニット製品です。小面積部に赤外線を集光照射、クリーン加熱ができます。 補助ミラー・支持スタンドはオプションです。
※補助ミラー付きで、1300℃ 使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理 |
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中面積用赤外線放射部です。均熱機構付で最大ø50の試料を加熱できます。支持スタンドはオプションです。
使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理 |
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赤外線は導入ロッドの先端より放出し、囲りを加熱せず試料のみ短時間で昇温。 狭い空間、磁場中、運動中試料の加熱用。支持スタンド付き。
使用例:固定・回転・往復運動中試料の加熱 |
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