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短納期製品
   次の製品はご注文後約1ヶ月の短期間で納入できますのでご案内します。



真空チャンバー上部を開口し、試料のセット、真空中の高温高速熱処理、ガス雰囲気中加熱もできます。

IVF298W 特長
  1. クリーン加熱、高速昇温、降温、非接触加熱
  2. 外部熱源より真空中試料に赤外線を集光加熱
  3. 真空高温加熱中試料の観察
用途:シリコンウエハー、セラミックス等熱処理
    電気抵抗測定用
型番
到達温度
加熱面積
真空度
IVF298W
1500℃
ø10〜20
5×10-4Pa

技術情報 加熱方法 研究例

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試料を均一な温度分布で熱処理できます。

GFA430VN 特長
  1. 昇温中でも電気炉内の試料が見える
  2. 温度分布1000℃で±5℃
  3. 昇・降温速度が速い
  4. 真空・ガス雰囲気中での昇温
  5. 多数の試料の同時処理
用途:シリコンウエハー、セラミックス等熱処理
    電気抵抗測定用
型番
均温容積
真空度
GFA430VN
ø36×200L
5×10-4Pa

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IR298/赤外線放射加熱器

写真下部の小さい試料に赤外線を集光照射し、短時間に昇温。 非接触加熱なので熱源からの汚れはなくクリーン加熱ができます。
補助ミラー・支持スタンド付き、別途電源が必要。

型番 到達温度 加熱面積 赤外線放射口 焦点距離
IR298 1500℃ ø12〜20 ø80 40o

使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理

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IR298UT/赤外線放射部

高温型の赤外線放射部のユニット製品です。 小面積部に赤外線を集光照射、クリーン加熱ができます。補助ミラー・支持スタンドはオプションです。

型番 到達温度 加熱面積 赤外線放射口 焦点距離
IR298UT 1300℃ 約ø15 ø90 80o

    ※補助ミラー付きで、1500℃、1300℃

使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理

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IR198UT/赤外線放射部

標準型の赤外線放射部のユニット製品です。小面積部に赤外線を集光照射、クリーン加熱ができます。 補助ミラー・支持スタンドはオプションです。

型番 到達温度 加熱面積 赤外線放射口 焦点距離
IR198UT 1000℃ 約ø10 ø90 80o

    ※補助ミラー付きで、1300℃

使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理

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IR29PUT/赤外線放射部

中面積用赤外線放射部です。均熱機構付で最大ø50の試料を加熱できます。支持スタンドはオプションです。

型番 到達温度 加熱面積 赤外線放射口
IR29PUT 800℃ 約ø50 ø60

使用例:シリコン、セラミックス金属、部材等の熱処理

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GA298_GA198/大気用赤外線導入加熱装置

赤外線は導入ロッドの先端より放出し、囲りを加熱せず試料のみ短時間で昇温。 狭い空間、磁場中、運動中試料の加熱用。支持スタンド付き。

型番 到達温度 到達真空度 加熱面積
GA298 1500℃ 真空・ガス中 ø10〜20
GA198 1300℃

使用例:固定・回転・往復運動中試料の加熱

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