赤外線加熱方式を用いた研究例の紹介
| 研究テーマ | 発表者 | 使用機種 |
| ＳｉＣ素子の基礎と応用 P-110 RTA装置 2003年3月26日 オーム社 |
電子技術総合研究所 荒井和雄、吉田貞史 |
RTA装置 |
| 超高温PLD装置によりヘテロエピタキシャル成長させたGa2O3薄膜 応用物理学会 2001年春 29a-P4-5 |
科技団透明電子活性PJ 折田政寛、細野秀雄 |
GVL298 |
| ＴＭＳと水素混合ガスＲＦプラズマによるＳｉＣ膜堆積 応用物理学会 2001年春 31ａ-Ｐ15-9 |
室蘭工業大学 越後裕介、伊藤秀範 |
GV154 |
| 超高温・超高速熱アニール処理による4H-SiCへの低抵抗n+型イオン 注入形成 ETL NEWS 2001.2 Vol.613 |
電子技術総合研究所 福田憲司、荒井和雄 |
GVL398 |
| リニア型高速熱処理法による薄膜配向性の制御 社団法人 電子情報通信学会 The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers TECHNICAL REPORT OF IEICE OME 99-50 （1999-07） |
山梨大学工学部 土屋直人、中川恭彦 |
IR2000GV |
| 超高真空反射型電子顕微鏡の開発[Ⅱ]赤外線試料加熱装置 応用物理学会 1996年春 28a-ZT-5 |
大阪大学 秋田知樹、志水隆一 |
IR-1000GVH |
| 真空中酸素ジェットによるＳｉの熱酸化 応用物理学会 1996年春 29p-N-1 |
東京大学 辻田達男、鳳浩一郎 |
GVL298 |
| 赤外線放射加熱による板ガラスの熱衝撃破壊試験 Journal of Ceramic of Japan 103(9)960-965(1995) |
鹿児島大学教育学部 淡路英夫 (株)サーモ理工 遠藤智義 |
|
| ＢＮコーティングによるステンレス鋼膜の水素透過の抑制 真空 1994年3号 |
金属材料研究所 板倉明子 |
IR-1000GV |
| 酸化雰囲気中の光加熱 熱と共に10年の歩み (株)サーモ理工 1992年4月 Ｐ-20 |
武蔵工業大学 服部健雄 |
IR-1000GV |
| 熱技術25年の歩み 2007年4月 | (株)サーモ理工 |
Research by the Infrared Heating Method (Paper in English)
| Theme | Author | Model Used |
| In situ heat treatment of ultrathin MgO layer for
giant magnetoresistance ratio with low
resistance area product in CoFeB/MgO/CoFeB magnetic tunnel junctions Applied Physics Letters 93,192109,2008 |
S.Isogami, M. Takahashi / Tohoku University |
GV198 |
| Simultaneous scanning tunneling microscopy and stress measurements to elucidate the origins of surface forces Review of Scientific Instruments 78,053903, 2007 |
Tetsuya Narushima, Niall T. Kinahan, John J. Boland / Trinity College Dublin |
GVH398 |
| Predicting the amount of carbon in carbon nanotubes grown by CH4 rf plasmas Journal of Applied Physics 99,014302,2006 |
Y. Suda, Y. Sakai / Hokkaido University | GVL298 |
| Combined Radiation-Conduction Analysis and Experiment of Ceramic Insulation for Reentry Vehicles Journal of Thermophysics and Heat Transfer Vol.18,No.1,January-March 2004 |
National Aerospace Laboratory of Japan | GV-2 |
| Activation treatment of impurities using hybrid super RTA equipment. | A. Kinoshita, J. Senzaki, M. Katou, S. Harada, M. Okamoto, S. Nishizawa, K. Fukuda, F. Morikasa, T. Endou, T. Isii, T. Yashima AIST, Thermo Riko Co.,Ltd Nippon Thermonics Co.,Ltd | S-RTA |
| Pulsed Laser deposition system for producing oxide thin films at high temperature Review of Scientific Instruments VOL.72,No,8 Aug.2001 |
M. Orita, M. Ohta, H. Hiramatsu, M. Hirano / Japan Science and Technology Corp. M. Sasaki, T. Katagiri / Katagiri Engineering Co.,Ltd H. Hosono / Tokyo Institute of Technology |
GVL298 |
| In situ observation of epitaxial microcrystals in thermally grown SiO2 on Si(100) Applied Physics Letters,Vol.74,No.18,May3,1999 |
N. Awaji, Y. Sugita, Y. Horii / Fujitsu Laboratories Co.,Ltd I. Takahashi / Kansei Gakuin University |
GV198 |
| Periodic Changes in SiO2 / Si(111) Interface Structures with Progress of Thermal Oxidation Jpn.J.Appl.Phys.Vol.33(1994)pp. L675-L678 Part2,No.5A,May1,1994 |
K. Onishi, T. Hattori / Musashi Institute of Technology |
GVH298 |
| Diffusion of 57 Co in amorphous Fe-RE (RE=Dy,Tb,and Ce) and Fe-Si-B alloys J.Mater.Res.,Vol.8,No.9,Sep.1993, 1993 Materials Research Society |
K. Yamada, Y. Iijima, K. Fukamichi / Tohoku University |
GV198 |
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