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真空排気装置

真空排気装置

  • 製品仕様

    到達圧力 1.3×10-4Pa(マニホールド内無負荷清浄時)
    起動時間
    停止時間
    約5分
    約5分
    動作電圧 AC100V 50/60Hz
    外形寸法 幅325mm×奥行450mm×高652mm
    重量 約45kg
    接続口 NW25
    電源 AC100V 10A 50/60Hz
  • 単品機器仕様

    機種名 TMP-60 TMP-200
    ターボ分子ポンプ 排気速度 60L/sec(N2 220L/sec(N2
    許容補助圧力 260Pa
    回転速度 48,000rpm
    所要電力 0.4kVA
    油回転真空ポンプ 排気速度 50L/min 135L/162L/min 50/60Hz
    仕様電動機 0.2kW 0.4kW
    自動スローリーク弁 接続型式 NW25
    動作電圧 AC100V
    動作 通電時 閉
    ペニング真空計 測定圧力範囲 1.3×10-3〜1.3Pa(1×10-2Torr)
    圧力表示 アナログ表示
    電源 AC100V±10% 50/60Hz 20VA 内蔵
    コントローラー重量 4.3kg
    外形寸法 H99×W240×D253(mm)
    測定子 W1-PA型 1本
    ※その他特注品も製作しております。
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