ウシオ電機
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ウシオ電機　USHIO
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マルチライト 露光装置用光源ユニット
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分割投影露光装置 高密度プリント配線板用
エキシマVUV／O3洗浄装置
ユニハード 紫外線ホトレジスト硬化装置
ステップ露光装置
ウェーハ周辺露光装置
スポットキュアシリーズ スポットUV照射装置
ユニキュアシステム 紫外線硬化装置 -
TAB露光装置 投影露光方式
光測定機器
スペクトロラディオメータ  分光放射照度計
URE-30  分光放射率計 
UIT-250  紫外線積算光量計  UIT-201 紫外線照度計
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放電ランプ
人工光源
キセノンランプ
キセノンフラッシュランプ
超高圧水銀ランプ
プロジェクタ用超高圧水銀ランプ（NSH）
キャピラリーランプ（毛細管型超高圧水銀ランプ）
高圧水銀ランプ
低圧水銀ランプ
キセノンマーキュリーランプ（Deep UVランプ）
メタルハライドランプ
外部電極式希ガス蛍光ランプ
誘電体バリア放電エキシマランプ
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