ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社

〒167-0051 東京都杉並区荻窪5-22-9 藤ビル2F
TEL:03-3220-5871 FAX:03-3220-5876
e-mail:info@jawjapan.com

VASE

VASE(多入射角分光エリプソメーター)

広い波長範囲 (190nm-3200nm) を持つ、多入射角分光エリプソメーターです

M-2000

M-2000(高速分光エリプソメーター)

革新的な回転補償子 (RCE) 技術を搭載
193nmから1700nmの間で多くの波長範囲を選べます

VUV-VASE

VUV-VASE(真空紫外域多入射角分光エリプソメーター)

真空紫外から近赤外 (146nm-1700nm) までをカバーする分光エリプソメーターです
リソグラフィーの248nm、193nm、および157nmに完璧に対応します

IR-VASE

IR-VASE(赤外域多入射角分光エリプソメーター)

2から30ミクロンまでの広い波長範囲を測定し、薄膜とバルク材料の両方の測定が行えます

alpha-SE

alpha-SE(簡易高速分光エリプソメーター)

薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなalpha-SEがお勧めです
従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくまとめました波長範囲は380nm-900nmの180波長です

T-Solar

T-Solar(太陽電池向分光エリプソメーター)

テクスチャー構造をもつ太陽電池関連のアプリケーションに適した装置です
紫外から可視光、近赤外までの範囲の数百波長での測定が可能です

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