非接触・非破壊による高度な薄膜解析装置
分光エリプソメータの専門メーカー
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
〒167-0051 東京都杉並区荻窪5-22-9 藤ビル2F
TEL:03-3220-5871 FAX:03-3220-5876
e-mail:info@jawjapan.com
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VASE® 広い測定波長範囲(193nm〜2200nm)を持つ多入射角分光エリプソメータ。
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M-2000® 革新的な回転補償子(RCE)技術。193nmから1700nmの間で多くの波長範囲が選べます。
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VUV-VASE® 真空紫外から近赤外(146nm〜1700nm)までカバーする分光エリプソメーターです。 リソグラフィーの248nm、193nm、および157nmに完璧に対応します。
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FP
M-2000® ディスプレイ業界のために設計した全自動のM-2000®で、広範囲の面内分布測定用です。
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IR-VASE® 2〜30ミクロンの赤外領域をカバーする測定波長レンジを持っています。
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MASE™ 光路変換オプティクスにより、エリプソメータの位置が固定されていても、 3つの入射角を測定。 サンプルの上空を移動するような大きな面積の面内測定に最適です。
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alpha-SE™ 今までの分光エリプソメトリーでは、膜厚と屈折率の測定でこれほど簡単に使えて 低コストの装置はありませんでした。
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M-2000VF モデルM-2000VF高速分光エリプソメータは、スライダーヘッドの浮上量試験機で使用する波長 (380nmから900nmのどのような波長でも)の光学定数(nとk)を測定するために特別に設計されました。
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ソフトウェアパッケージ WVASE32™、EASE™、VASEManager™、RetMeas™ 市販のソフトウェアの中で最も強力なエリプソメトリックデータの取得、解析が可能です。 弊社のソフトウェアはあらゆる種類のサンプルに対応できる強力なものです。 |