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簡易高速分光エリプソメーター
α-SE™

alpha-Spectroscopic Ellipsometer

薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなデザインの新型、α-SE™がおすすめです。 従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくコンパクトにまとめました。 理想的なテーブルトップの装置です。 また、コンピューターとのインターフェースにUSBを装備。取得したデータを簡単に取り込むことができます。

alpha-SE™
IR-VASE®の主な仕様
  • 使いやすい
    ボタン操作一つでソフトウェアを操作できます。
  • 柔軟性
    誘導体、半導体、有機物などの材料の測定に対応しています。
  • パワフル
    確かな分光エリプソメーターの技術で単一波長のエリプソメーターでは不確定な膜厚と、屈折率の測定が可能です。
  • 低価格
    高レベルな測定機器よりも低価格ながら、パワフルな装置です。
  • 高速測定
    100波長を数秒で同時に測定し、すぐに解析結果が出ます。
alpha-SE™ ソフトウェア

モデルリストの中からモデルを選び、 "Project"にデータを保存します。そして"Measure"ボタンを押すだけです。とっても簡単!

進歩したモデリング能力

  • 分散モデルにより、どんな材料も記述できます−
    Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Guassian, Tauc-Lorentzなど・・・
  • 屈折率の勾配
  • 表面/界面の粗さ
alpha-SE™の仕様
  • 波長範囲: 370nm から 900nm (180波長)
  • 入射角度: 70°または 90°
  • コンピューター接続ポート: USB Port (1.1 以上)
  • サンプルの自動高さ調節機能つき
    データ取得時間:
    • 3 秒. (高速モード)
    • 10 秒. (標準モード)
    • 30 秒. (高精度モード)
alpha-SE™ 必要用力
  • 電源: 100−240VAC/1A/47-63Hz IEC320ソケット
  • 重量: 18Kg (39ポンド)(平面の設置すること))
  • コンピューター:
    • Windows 98 以上
    • USB ポート (1.1 以上)
alpha-SE™ ソフトウェア