赤外域-多入射角分光エリプソメーター
IR-VASE®
半導体産業の研究用に、ポリマー解析にと様々な用途に使える優れた機器です。
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赤外域-多入射角分光エリプソメータ
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IR-VASE®の主な仕様
- 波長範囲: 2-33μm(333−500cm-1)
- 回転補償子(コンペンセーター)[Rotating compensator( RCE
)]
0度から360度までの正確な "Delta" データが取得でき 高度な測定能力を持ちます。
- 高精度の自動入射角制御
- 光学への応用
- 2 − 30 ミクロンの赤外波長範囲での正確な光学定数(n, k)
- 反射の位相シフト(直接測定)
- 半導体技術への応用
- EPI-膜厚
- 抵抗率の測定
- ドーピングプロファイル
- ポリマー解析
- ポリマー解析は、FTIR 分光学と似ていますがエリプソメトリーには利点があります:
超薄膜、不透明な基板、多層膜など。
- エリプソメトリーと、標準の FTIR 測定の両方で測定してみてください。
IR-VASE® 利用可能なオプション
- 追加用ディテクター 標準の FTIR 反射/透過測定のための検出器
- サンプル ヒート ステージ
温度範囲は、室温から300度まで。
- クライオスタット:
サンプルの温度を変えて測定できます(4.2から700ケルビン)
IR用ウインドウでのオプション
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