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赤外域-多入射角分光エリプソメーター
IR-VASE®

半導体産業の研究用に、ポリマー解析にと様々な用途に使える優れた機器です。

赤外域-多入射角分光エリプソメータ
IR-VASE®の主な仕様
  • 波長範囲: 2-33μm(333−500cm-1
  • 回転補償子(コンペンセーター)[Rotating compensator( RCE )]
    0度から360度までの正確な "Delta" データが取得でき 高度な測定能力を持ちます。
  • 高精度の自動入射角制御
  • 光学への応用
    • 2 − 30 ミクロンの赤外波長範囲での正確な光学定数(n, k)
    • 反射の位相シフト(直接測定)
  • 半導体技術への応用
    • EPI-膜厚
    • 抵抗率の測定
    • ドーピングプロファイル
  • ポリマー解析
    • ポリマー解析は、FTIR 分光学と似ていますがエリプソメトリーには利点があります:
      超薄膜、不透明な基板、多層膜など。
  • エリプソメトリーと、標準の FTIR 測定の両方で測定してみてください。

IR-VASE® 利用可能なオプション