Flatpanel M-2000^®は、ディスプレイ産業用に特別に設計されたものです。 この装置の特徴は、速い測定スピード、全自動、広いエリアでの面内分布測定です。 他社の広域マッピングエリプソメーターと異なり、この装置は、あらゆる角度で測定ができます。 ( 全自動 ) 角度を変えられることは、フラットパネルディスプレイを製造する時に使われる多層膜の解析にはとても重要です。

• 速い 測定スピード。標準で1点につき10秒
• 特許取得済の回転補償子エリプソメーター (Rotating Compensator Ellipsometer)技術
  
  • RCEにより、正確な"Delta"データ(Δ:0°から360°)及び "Psi"データ(Ψ:0°から90°)が取得でき、より高度な解析が可能.
• 広い波長範囲:
  1. 380nmから1000nmまでの390の波長
  2. 250nmから1000nmまでの470の波長
  1700nmまでアップグレード可能
• 自動化された入射角制御とサンプルアライメント
• 自動サンプルステージ:
  350mmから400mm XY
  370mmから470mm XY
• 非破壊材料分析:
  
  • あらゆるタイプの材料の特性の解析:半導体、誘電体、ポリマー、金属、多層層、ほか