複数入射角分光エリプソメーター MASE™ MASEは、革新的な複数入射角ベースの設置されたM-2000です。 MASEは、エリプソメーターを固定位置にしたまま光路変換光学系を用いて3つの入射角を実現して複数入射角測定を 簡単にします。 このコンパクトな設計により、エリプソメーターがサンプルの上を飛行するようにして広い領域の 面内分布測定が可能になります。

MASE™ with 300mm sample translation

なぜ分光エリプソメトリーでは複数入射角測定が重要なのか？

MASE™の特徴 M-2000®技術がベースとなっています 特許取得済のRCE技術 （回転補償子型エリプソメーター） 広い波長領域で数百の波長測定 高速のデータ測定 短い光路＝S/N比の向上 オプションで集光光学系が取付け可能 微小スポットでの測定 サンプル面からの高さ方向を自動調整 大きな面積の面内分布測定に最適 このMASEは大きな面積の面内分布測定に最適なようにコンパクトに設計されています。このエリプソメーターは大面積の試料の上空を移動し、なおかつ複数の入射角を測定することが出来ます。 自動サンプル調整オプション 自動の煽りや高さ調整機構 測定解析ソフトウエアWVASE32® WVASE32はデータ収集と解析が出来る包括的なソフトウエアです。これは最先端数学を用いたフィッティングアルゴリズムに多くの選択可能な光学モデルを組み合わせたもので、これにより的確なデータ解析が出来ます。

集光光学系のついたMASE™