多入射角分光エリプソメーター(VASE^®)は、全ての波長で入射角を精度良く設定し、ΨとΔを高精度で測定することが出来ます。これは広い波長領域(193nm 〜 2200nm )で可能です。サンプルステージは垂直にも水平にも取付け可能で、自動マッピングステージも利用可能です。集光オプションも使えます。 VASE^®は、研究用には最適な 多入射角分光エリプソメーターです。

• あらゆる分光エリプソメーターの中で最も精密で正確です
• 広い波長レンジ: 193 から 2200 nm.
• 完全に自動化された入射角制御
• 非破壊の物質解析
• 容易にたくさんのタイプの材料の特性を解析できます：
  半導体、誘電体、重合体、金属、多層膜、その他
• 以下のデータの取得が可能です:
  • 反射と透過のエリプソメトリーデータ
  • 透過率と反射率の測定
  • 偏光解消率 ( AutoRetarder　が必要です)
  • 異方性の測定 ( AutoRetarder　が必要です)
  • ミューラー行列
  • スキャッタメトリー

• NIR アップグレード
  波長範囲 (240 to 1100nm) をさらにNIR 1700nm まで拡張します。
• 拡張赤外域ディテクター (XNIR)アップグレード
  波長範囲 (240 to 1100nm) をさらにNIR 2200nm まで拡張します。
• DUV アップグレード
  波長範囲 (240 to 1100nm) をさらに深いUV 193nm まで拡張します。
• AutoRetarder™ (V-VASE^® のみ)
• サンプルヒートステージ
  サンプルの縦置き、横置きどちらにも使える高温度ステージ。温度範囲は、室温から300度まで。
• 自動サンプルステージ
  150mm by 150mm XY (V-VASE のみ)
  100mm by 100mm XY (H-VASE のみ)
  200mm Rq (H-VASE のみ)
  300mm Rq (H-VASE のみ)
  350mm by 400mm XY (H-VASE のみ)
  
• 手動サンプルステージ
  45mm by 45mm XY (V-VASE のみ)
  25mm by 25mm XY (H-VASE のみy)
  50mm by 50mm XY (H-VASE のみ)
  
• 集光ビーム
  ビームを直径200ミクロンまで集光します。 集光光学系により、波長レンジは、400nmから1100nmまでの波長範囲にかぎられますが、 取り外して全波長での標準測定が可能です。
• クライオスタット (V-VASE^® のみ)
  サンプルの温度を変えて測定できます(4.2から700ケルビン)