| 型 式 |
HE/GBXシリーズ |
DLXシリーズ |
| 特 長 |
前面パネルおよび側板の取外しが可能 |
前面パネル取外し可能、一体成型構造 |
| 材 質 |
5052耐腐蝕性強化アルミニウム またはSUS304*1 |
SUS304 |
| 窓 材 |
Lexan板(透明度が高く、耐衝撃性、耐化学薬品性にすぐれる) または強化セーフティガラス(13mm厚) |
| グローブ |
ブチル(厚手、薄手各種有り) 9インチグローブポート |
| 照 明 |
蛍光灯(前面上部またはボックス天板上部) |
| フィルター |
2ヶ所(IN、OUT側) 3μダストフィルター(オプションにて0.3μまたは0.12μ) |
| 内部電源コンセント |
ボックス内4口または2口取出し |
| サービスポート |
1インチNPT×1 1/2インチNPT×5
1/4インチNPT×1(オプションにて各タイプ、サイズ設置可能) |
| ヘリウム・リーク・レート |
3×10-8cc/sec at 8 inch H2O<2.0kPa>HeにてNo detectable leaks |
真空引き アンティチャンバー (パスボックス部) |
610mm×380mmφシングルセンタークランプ式
O-リングシールドア、真空度1×10-3torr(0.13Pa)以下
ボールベアリング式スライドトレイ付き(305mm×585mm)
オプションにてミニアンティチャンバー2種類 |
*1 GBXシリーズはSUS304のみの設定となります。