| 型 式 |
NXL-M |
NXL-A |
NX1-1 |
NX1-2 |
NX1-8 |
NX1-3 |
NX1-4 |
NX1-5 |
NX1-6 |
NX1-7 |
| 形状(タイプ) |
ボックス 側面取付 |
ボックス スタンド内 組込 |
セパレート タイプ (縦型) |
セパレート タイプ (横型) |
セパレート タイプ |
| 精製筒の数 |
1 |
1 |
1 |
1 |
2 |
1 |
2 |
1 |
2 |
2 |
ブロワー 循環流量 (可変流量式) m3/h |
68 |
68 |
0〜68 |
0〜68 |
0〜68 |
0〜68 |
0〜68 |
0〜68 |
0〜68 |
0〜200 |
| 精製筒バルブ |
マニュアル ボール バルブ |
オート マチック ボール バルブ |
マニュアル ボール バルブ |
オートマチックボールバルブ |
オート マチック ゲート バルブ |
| ブロワータイプ |
低ノイズ、熱交換器および冷却水等不要 UL、CSA規格認定品 |
精製筒吸着容量 1ppm平衡 |
O2:10リットル、H2O:320g(1精製筒1再生当り) |
O2:40リットル、 H2O:840g |
精製筒吸着 飽和量 |
O2:20リットル、H2O:700g(1精製筒1再生当り) |
O2:60リットル、 H2O:2100g |
| 精製剤 |
1精製筒当り 銅触媒(4.5kg)、モレキュラーシーブ(9.1kg) |
銅触媒:18kg、 モレキュラー シーブ:27kg |
| 精製能力 |
VACグローブボックス内酸素・水分濃度共に1ppm以下 |
システム コントロール |
NEXUS ONEシステムコントロール(CRTカラーディスプレイ付き) |
ヘリウム・リーク ・レート |
3×10-8cc/sec at 8 inch H2O<2.0kPa>HeにてNo detectable leaks |
| 循環ガス |
アルゴン・ヘリウム・窒素 |
| 再生ガス |
3〜5%水素混合ガス |
| 電 源 |
90-240VAC 50/60Hz |