高純度不活性ガス循環精製装置
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本装置は、グローブボックスあるいは一定の密封度を保った容器に接続することにより、不活性ガス中の酸素・水分・CO2その他不純分の濃度を1ppm以下に保つことができます。研究室での実験用から各種工業生産プロセスに至るまで多種多様なアプリケーションに対応可能な様々な機種を取り揃えております。

 

<特  長>

  • NEXUS ONEシステムコントロールによる4Key操作のみにて全ての動作を設定し、CRTカラーディスプレイに表示します。

  • 可変流量式大容量循環ブロワーを採用しているため、任意のブロワー流量を設定でき、ボックス内換気回数を調整できます。また熱をもたない最新ブロワーのため、従来必要であった循環冷却水、熱交換器等は不要です。

  • 場所を必要としないボックススタンド内組込みタイプから、既存ボックスへの取付けも可能なセパレートタイプ(縦型、横型)また大容量ボックス対応タイプまで多種をご用意できます。

  • 各タイプにおいてガス精製筒が1筒の機種と2筒の機種(循環が2系列2筒式のため、1筒を再生中でも別の1筒にて常時連続精製運転が可能)を取り揃え、お客様のご要望に対応できます。

  • 精製筒の再生工程は全自動で行われ、再生ガス流量の自動コントロール、また再生中のガス切れによる自動停止機能も備えております。

  • セーフティー圧力コントロール機能によりボックス内および精製装置経路内の設定外異常圧力を検知した場合は、関連するガス流入・吸引系のバルブ機能を自動停止させます。

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大容量グローブボックス対応システム
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セパレートタイプ
(NX1-3、NX1-4、)(縦型)
photo ボックススタンド内組込みタイプ
(NX1-1、NX1-2、NX1-8)
(スタンド裏側)

 
<性能曲線>

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<高純度不活性ガス循環精製装置標準仕様>

型  式 NXL-M NXL-A NX1-1 NX1-2 NX1-8 NX1-3 NX1-4 NX1-5 NX1-6 NX1-7
形状(タイプ) ボックス
側面取付
ボックス
スタンド内
組込
セパレート
タイプ
(縦型)
セパレート
タイプ
(横型)
セパレート
タイプ
精製筒の数 1 1 1 1 2 1 2 1 2 2
ブロワー
循環流量
(可変流量式)
m3/h
68 68 0〜68 0〜68 0〜68 0〜68 0〜68 0〜68 0〜68 0〜200
精製筒バルブ マニュアル
ボール
バルブ
オート
マチック
ボール
バルブ
マニュアル
ボール
バルブ
オートマチックボールバルブ オート
マチック
ゲート
バルブ
ブロワータイプ 低ノイズ、熱交換器および冷却水等不要 UL、CSA規格認定品
精製筒吸着容量
1ppm平衡
O2:10リットル、H2O:320g(1精製筒1再生当り) O2:40リットル、
H2O:840g
精製筒吸着
飽和量
O2:20リットル、H2O:700g(1精製筒1再生当り) O2:60リットル、
H2O:2100g
精製剤 1精製筒当り 銅触媒(4.5kg)、モレキュラーシーブ(9.1kg) 銅触媒:18kg、
モレキュラー
シーブ:27kg
精製能力 VACグローブボックス内酸素・水分濃度共に1ppm以下
システム
コントロール
NEXUS ONEシステムコントロール(CRTカラーディスプレイ付き)
ヘリウム・リーク
・レート
3×10-8cc/sec at 8 inch H2O<2.0kPa>HeにてNo detectable leaks
循環ガス アルゴン・ヘリウム・窒素
再生ガス 3〜5%水素混合ガス
電  源 90-240VAC 50/60Hz

 

<窒素・水素循環除去装置>

本装置は、チタニウムスポンジを吸着剤として、高純度不活性ガス循環精製装置と同時に用いることにより不活性ガス中の窒素濃度を1ppm以下、水素濃度を20ppm以下に制御します。

型  式 NI-20 NI-40
循環流量 34m3/h 68m3/h
除去能力 窒素濃度1ppm以下、水素濃度20ppm以下
吸着剤 チタニウムスポンジ
電  源 208/230V 40A 208/230V 80A
ユティリティー 循環冷却水、圧縮空気他

窒素・水素循環除去装置/窒素計、酸素計、水分計、記録計、システムコントロール、高純度不活性ガス循環精製装置の組合せ設置例

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