2006年1月25日

Press Release

次世代微細加工用　全固体QスイッチパルスIRレーザをリリース

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場)は、2006年1月24日Photonics West 2006(米国のレーザ及び光エレクトロニクス製品の展示会、会期：1/24-26/2006)にて次世代微細加工用 全固体QスイッチパルスIRレーザMatrix^TMシリーズ　(波長：1064 nm, 最大平均出力：10W, パルス発振)をリリースした。

新製品Matrixシリーズは、新しい設計と製造方法を施し、高性能・高信頼性を実現するOＥＭ組込に最適な産業用全固体パルスレーザである。また用途に応じ、繰返周波数、パルス間安定性や価格などから最適なモデルが選択できる。

繰返し10 kHzモデルは、プラスチックやメタルまたＣＯ_２レーザでは加工の難しい材料加工用に設計され、繰返し30 kHzモデルは、マイクロエレクトロニクス分野におけるアクティブ、パッシブ回路部品(抵抗や水晶等)のトリミング向けに設計されている。また350 kHzモデルは、高繰返しで低ノイズ(<1% RMS)の特性となるよう設計され、メモリーリペアやディスクテキスチャリングのような精密で、ハイスループットが要求される応用に適している。

なおMatrixは小型設計により、設置しやすく、低消費電力、空冷と循環水冷の選択が可能で、励起用のダイオードレーザは、自社製のAAA^{TM 注1)} を採用し、2万時間の寿命が期待できる。

主な仕様

• 波長： 1064 nm
  
• 平均出力： 7W @ 10 kHz (パルス発振)
  　　　　　　　10W @ 30 kHz　(パルス発振)
  　　　　　　　10W @ 350 kHz (パルス発振)
  
• 空間モード：TEM00

アプリケーション

• 微細加工(彫刻、トリミング等)
  

特長

• 高性能
• 高信頼性
  
• 優れたビーム質