2006年7月12日
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Release
大出力 産業用エキシマレーザの新モデルをリリース
コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場)は、2006年7月12日大出力 産業用エキシマレーザLAMBDA SXシリーズの新モデルを3種類リリースした。新モデルとは、LSX 200C<波長：308 nm (XeCl), 出力：200W>, LSX 200K<波長：248 nm(KrF), 出力200W> LSX300K <波長：248 nm (KrF), 出力：300W>で、いずれも最大繰返し周波数は、300 Hz。
この製品は、信頼性が高い固体パルススイッチやビーム位置高安定性のために外部共振器デザインを採用している。さらに独自開発した技術PowerLok™とTimeLok™ により、バーストオペレーション時のエネルギー安定化のみならず、トリガー安定によるタイミングジッターの減少を実現する機能を備えている。なお、LAMBDA SXシリーズは、リアルタイムコントロールに向けたソフトウェアやE-diagnostics機能など、メンテナンス管理を充実させる機能を強化している。
この製品は、UV領域において最もコストパフォーマンスが高く、高いデューティサイクルを実現するため、マイクロマシニングやプラスチック、ガラス等の表面加工、TCO膜(例ITO,ZnO膜)やフレキシブル基板の薄膜パターニング、低温ポリシリコンアニーリング、リール to リールPLD(パルスレーザ真空蒸着)等、幅広い産業向けプロセス応用に、高い生産性を提供する。また、LAMBDA SXシリーズは、コヒレント社のMicroLas光学システムとの組み合わせにより、2ミクロンレベルのアブレーションが可能となる。
主な仕様
| LAMBDA SX | |||
| 200C | 300K | 200K | |
| 波長 | 308 nm | 248 nm | 248 nm |
| 最大パルスエネルギー | 670 mJ | 1000 mJ | 670 mJ |
| 最大安定化平均出力 | 200W | 300W | 200W |
| 最大繰返し周波数 | 300 Hz | 300 Hz | 300 Hz |
| パルス間エネルギー安定性 (1σ) | ≦1.5% | ≦2% | ≦2.5% |
アプリケーション
- レーザアニーリング
- 微細加工
- パッケージング
特長
- 大出力
- 高安定性