2006年7月24日
Press
Release
小型、高経済性エキシマレーザの新モデルをリリース
コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場)は、2006年7月24日小型、高経済性エキシマレーザExciStar™ XSをリリースした。
ExciStar XSは、従来機ExciStarシリーズの新モデルで、 (L)649 x (W)300 x (H)400 mmの小型設計でありながら、最大パルスエネルギー10 mJ/パルス(平均5 mJ/パルス) @ 波長193 nm、パルス間エネルギー安定性<2% (1σ)、最大繰返し周波数500 Hzを実現する空冷タイプのエキシマレーザである。
またこの製品は、新チューブ技術Almeta XS、コロナ予備放電技術、ソリッドステートスイッチ方式、静電フィルタを採用しているので、5億ショットのチューブ期待寿命や1億ショットの光学系期待寿命を実現する。
さらにExciStar XSは、波長157 nm(F2)、193 nm(ArF)、248 nm(KrF)、351 nm(XeF)で発振し、設置が簡単なテーブルトップ型で、低価格のため、研究用やマーキング用途に最適である。なお、ExciStar XSは、RoHS指令対応製品である。
主な仕様
- 発振波長： 157, 193, 248, 351 nm
- 最大パルスエネルギー：10 mJ/パルス(平均5 mJ/パルス) @ 波長193 nm
- パルス間エネルギー安定性(1σ)：< 2%
- 最大繰返し周波数：500 Hz
- 寸法：(L)649 x (W)300 x (H)400 mm
アプリケーション
- 研究用途
- マーキング
特長
- 小型設計
- 高経済性
- 高性能