2007年4月26日
Press Release
微細加工用 長寿命全固体パルスDeep-UVレーザをリリース
コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2007年4月25日、24時間/7日稼動に対応する産業用全固体パルスDeep-UVレーザAVIATM266-3（新型）をリリースした。
新型AVIA266-3は、構成部品と製造方法に改良を加え、24時間/7日稼動の生産現場で求められる長寿命、高出力安定性を出力3Wのもとに実現する。また消耗品である結晶の寿命を向上し、他の同クラスのレーザの2倍となる24ヶ月ないし10,000時間動作のいずれか早い方を保証する。
この新型モデルは、Deep-UV波長、高出力、長寿命、低ランニングコストを同時に実現するため、マイクロエレクトロニクス等の産業分野で使用されている様々な材料の微細加工応用に理想的な光源である。またPosilockTM技術の採用により、結晶を移動した後のビーム位置再現性に優れ、加工精度を向上できるので、ガラス基板のマイクロビアドリリングやマイクロマシニング等の応用に最適である。
さらには、FR4やアクリルのような合成材料の微細加工や、ノズルの小径ドリリング、ガラスやポリカーボネートのようなプラスチックへのマーキング、スチール、タングステン、アルミニウムナイトライドのような硬質材料へのドリリング等の応用にも適している。
主な仕様
- 平均出力：3W @ 30 kHz
- 波長：266 nm
- パルス繰返周波数：シングルショット〜100 kHz 以上
アプリケーション
- 微細加工（樹脂、金属及び複合材料）
- マーキング
- ファイバーグレーティング
特長
- 製品保証：24ヶ月ないし10,000時間動作のいずれか早い方
- RoHs規制適合品
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