Xantos XSは、混合ガスボトルやレーザ発振に必要なガス設備をレーザ内のガスキャビネットに内蔵している全く新しい発想のエキシマレーザで、外部にガスシリンダーや真空ポンプを設置することなく、自動的にガス交換ができる上、国際安全基準を満たす設計を採用している。さらに、この新型エキシマレーザは、冷却設備が不要で、単相電源で動き、プラグを差し込めば使用できる"プラグ&プレイ"型のレーザである。そのため簡単に設置でき、特別なインフラ設備が整っていない場所へも簡単に移設/設置できる。

このレーザは、4つの発振波長(157, 193, 248, 351 nm)を持ち、最大繰返周波数500 Hzで安定したパルスエネルギーを実現する。またXantos XSは、2006年7月にリリースしたExciStar^TM XSをベースに、長期チューブ/ガス寿命及び高信頼性をもたらす新開発のアルメタXSチューブ(全メタルチューブ技術)を採用している。これらの特長により、低ランニングコスト、柔軟性、使い勝手の良さを兼ね備え、研究開発分野から産業分野に至るまで幅広い応用に最適である。

主な仕様

• 波長：157, 193, 248, 351 nm
• 安定化パルスエネルギー：〜8 mJ
• 最大繰返周波数：500 Hz
• 本体寸法：(L)927 x (W)400 x (H)1050 mm

アプリケーション

• 研究・開発
• 計測・検査
• 小型コンポーネントへのマーキング

特長

• 省スペース設計(ガスシリンダー内蔵)
• 空冷方式
• ソリッドステートスイッチ(高繰返し動作)
• 優れたビームプロファイル

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